我国有多套做好的波长13.5纳米极紫外光源,用它做接触式光刻机的光源能生产3nm芯片,十分简单,光线穿过透光区照射光刻胶,被照到的部分化学反应变硬留图 把纳米压印掩膜版凹陷区域填充挡光材料,改成耐用可以清洗的接触式掩膜版。(解决现有接触式掩膜版易脏污损坏问题) 国产投影式极紫外光刻机太难,想别的办法,3nm也只是名称,实际尺寸几十纳米
文心一言3.5有必要用吗
作者:文心一言3.5有必要用吗
我国有多套做好的波长13.5纳米极紫外光源,用它做接触式光刻机的光源能生产3nm芯片,十分简单,光线穿过透光区照射光刻胶,被照到的部分化学反应变硬留图 把纳米压印掩膜版凹陷区域填充挡光材料,改成耐用可以清洗的接触式掩膜版。(解决现有接触式掩膜版易脏污损坏问题) 国产投影式极紫外光刻机太难,想别的办法,3nm也只是名称,实际尺寸几十纳米